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薄さ約３mm の漏油・漏液を確実に検知
『オルデキャッチ フロア』は、オイルパンや目の届かない場所の漏油・漏液監視が可能な床置き型の漏油・漏液検知センサです。 【特徴】 ・薄さ約3mm の漏油・漏液を確実に検知 ・３か所の貫通穴で設置高さの調整可能 ・ドライ信号を常時出力（b 接点） ・電気接続は簡単 近接SW と同じ３線式 ・便利な警報表示器もあります ・耐荷重120Kg 踏まれても壊れません ・検出液体色に左右されません ・本質安全防爆型もあります
半導体製造装置の薬液漏れを早期発見。 設備停止リスク低減と安定稼働を支援します。
半導体製造工程における薬液漏れは、生産停止や設備復旧につながるリスクの一つです。 被害を最小限に抑えるためには漏液の早期発見が重要であり、設備保全・予防保全に向けた継続的な監視が求められています。 ■このような課題はありませんか？ ・半導体製造装置の薬液漏れを早期発見したい ・薬液漏れによる設備停止を防ぎたい ・配管や継手からの微小な漏れを把握したい ・漏液監視を自動化したい その課題、Liquidseekerが解決します！ ■Liquidseekerの特長 ・非接触で漏液監視 ・水・薬液・油を識別して検知 ・微小な漏液も検知 ・最大3m離れた位置から検知 Liquidseekerは、SWIR（短波長赤外）技術を活用した漏液検知アルゴリズムです。 本製品を、対応するSWIR ToFカメラへ組み込むことで、半導体製造装置で使用される薬液や水、油などの漏液を非接触で検知できます。 わずかな漏液も検出できるため、薬液漏れによる装置停止や品質不良のリスク低減に貢献します。
